Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники

Рассмотрены базовые полупроводниковые приборы современной микроэлектроники и физические процессы, обеспечивающие их работу. Анализируются статические, частотные и импульсные характеристики приборов, рассматриваются методы схемотехнического моделирования приборов и приводятся их эквивалентные схемы. Рассмотрены предельные параметры современных приборов микроэлектроники. Для каждого прибора делается краткий обзор современных методов их структурной реализации в интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению 210100 ''Электроника и микроэлектроника'' и по инженерным специальностям 210104.65 ''Микроэлектроника и твердотельная электроника'', 210108.65 ''Микросистемная техника'', 010803.65 ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', 210601.65 ''Нанотехнологии в электронике''. Материал книги может быть полезен также научным работникам, инженерам и аспирантам, стремящимся получить необходимые профессиональные знания.